应用领域:
精密光学实验、显微成像、医疗生物,光路测试、光学测量、激光干涉、精密检测,对振动具有较高的要求设备
技术指标:
光学平台高度 |
800mm |
光学台面平面度 |
≤0.05mm/m² |
光学台面粗糙度 |
≤0.8μm,台面亚光处理 |
光学平台振幅 |
1.2um |
固有频率 |
x方向:1.2Hz~2Hz y方向:1.2Hz~2Hz |
负荷承载 |
130kg/㎡ |
隔振方式 |
空气弹簧 隔振橡胶 |
水平调节方式 |
自动调平 气动元件执行 |
空气源 |
静音空气压缩机 <45dB 可外接 |
调节高度 |
±10mm |