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某外企采购精密气浮光学平台

作者:华创微振 来源: 时间:2018-05-16 10:43:30 浏览次数:

某外企采购精密气浮光学平台

使用单位:某外企精密检测实验室

采购数量:6套

应用领域:精密分析仪器,显微成像,光谱分析仪等

技术指标:

光学平台高度

800mm

光学台面平面度

≤0.05mm/m²

光学台面粗糙度

≤0.8μm,台面亚光处理

光学平台振幅

1.2um

固有频率

x方向:1.2Hz~2Hz y方向:1.2Hz~2Hz

负荷承载

130kg/㎡

隔振方式

空气弹簧 隔振橡胶

水平调节方式

自动调平 气动元件执行

空气源

静音空气压缩机 <45dB 可外接

调节高度

±10mm


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